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據“中國光谷”微信公眾號消息，近期，華工科技制造出我國首臺核心部件 100% 國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設備，在半導體激光設備領(lǐng)域攻克多項中國第一。

據華工激光半導體產(chǎn)品總監黃偉介紹，晶圓機械切割的熱影響和崩邊寬度約 20 微米，傳統激光在 10 微米左右，而經(jīng)過(guò)一年努力，華工科技的半導體晶圓切割技術(shù)成功實(shí)現升級，熱影響降為 0，崩邊尺寸降至 5 微米以?xún)?，切割線(xiàn)寬可做到 10 微米以?xún)取?/p>

晶圓切割和芯片分離無(wú)論采取機械或激光方式，都會(huì )因物質(zhì)接觸和高速運動(dòng)而產(chǎn)生熱影響和崩邊，從而影響芯片性能。

據透露，華工激光正在研發(fā)第三代半導體晶圓激光改質(zhì)切割設備，計劃今年 7 月推出新產(chǎn)品，同時(shí)也正在開(kāi)發(fā)我國自主知識產(chǎn)權的第三代半導體晶圓激光退火設備。

華工科技官網(wǎng)顯示，華工科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司脫胎于中國知名學(xué)府 —— 華中科技大學(xué)，是“中國激光第一股”，目前涵蓋以激光加工技術(shù)為重要支撐的智能制造裝備業(yè)務(wù)、以信息通信技術(shù)為重要支撐的光聯(lián)接、無(wú)線(xiàn)聯(lián)接業(yè)務(wù)，以敏感電子技術(shù)為重要支撐的傳感器業(yè)務(wù)格局，產(chǎn)業(yè)基地近 2000 畝。